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分部报告和地理信息 - 由产品和服务的外部客户收入（详情） - USD（$） 数千美元 |
3个月结束了 | ||||
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2016年9月30日 |
2015年9月30日 |
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| 外部客户的收入 | |||||
| 收入 | 750,673美元 | $ 642,644. | |||
| 总收入的百分比（百分比） | 100.00％ | 100.00％ | |||
| 晶圆检查 | |||||
| 外部客户的收入 | |||||
| 收入 | 359,009美元 | $ 227,783 | |||
| 总收入的百分比（百分比） | 48.00％ | 35.00％ | |||
| 图案化 | |||||
| 外部客户的收入 | |||||
| 收入 | 172,614美元 | $ 198,085 | |||
| 总收入的百分比（百分比） | 23.00％ | 31.00％ | |||
| 全球服务和支持 | |||||
| 外部客户的收入 | |||||
| 收入 | [1] | $ 203,130 | $ 199,871. | ||
| 总收入的百分比（百分比） | [1] | 27.00％ | 31.00％ | ||
| 其他 | |||||
| 外部客户的收入 | |||||
| 收入 | 15,920美元 | $ 16,905 | |||
| 总收入的百分比（百分比） | 2.00％ | 3.00％ | |||
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