产品描述
Candela 6300系列光学表面分析仪利用专利的多通道光学，结合独特的激光稳定性管理技术，提供强大的测量能力，边缘滚边，纹理/抛光均匀性，HDI表征，划痕和粒子检测。该检测和计量系统采用了先进的光学扫描技术，可以实现径向和周向的全表面圆盘形貌测量，允许制造商使用单一工具来测量整个空间光谱。增加的激光功率，低噪音地板和新的光学设计消除了溅射玻璃基板的缺陷检测的需要，允许识别粗糙度的变化< 0.1Å。
特性
- 提供业界最宽的空间带宽和最低的噪音地板
- 测量周向、径向粗糙度和波纹度
- 可重复计量与AFM测量金属和玻璃介质相关
- 提供快速和全表面覆盖所有磁盘形式因素
- 对轻微划痕、污渍和颗粒检测具有高灵敏度
- 创新光学表面分析(OSA)技术
- 可选手动(6310)或全自动(6340)
用例
- 粗糙度和波纹分析
- 缺陷检查
- 划痕及山脊检查
- 颗粒和染色检查
- Microwaviness测量
选项
- 精密钻石抄写员
- 离线软件
- 大型形式因素软件许可证
