Nanoindenters

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KLA仪器公司的纳米机械测试器提供精确、可靠和可重复测量的硬度、杨氏模量和其他机械性能,帮助您探索新材料,减少产品故障,加快您的上市时间。

即将来临的事件

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太平洋时间2021年10月19日上午10:00(美国和加拿大)

通过玻璃测量表面形貌

太平洋时间2021年10月20日上午09:00(美国和加拿大)

片材电阻的光斑尺寸和横向分辨率测量

太平洋时间2021年11月9日上午10:00(美国和加拿大)

多接口的Profilm3D

太平洋时间2021年11月18日08:00(美国和加拿大)

用坎德拉降低通信和传感应用的GaAs, InP和其他复合半晶圆的缺陷®

太平洋时间2021年12月8日上午09:00(美国和加拿大)

微电子显示涂层的纳米划痕与测试后3D轮廓术

iMicro

柔性,用户友好的纳米压头的模量,硬度(奥利弗-法尔分析,ISO 14577),存储和损失模量,和通用测试。能够施加高达1N的力来测试在更高负载和更大深度下的硬材料。配备可选的执行机构,用于测试软材料,摩擦学,横向力和其他测量,需要沿两轴确定力和位移。

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纳米硬度计压头®G200

完全可扩展,经过生产验证的纳米压头,具有自动化高通量硬度测量能力。KLA纳米压头产品家族中力范围最大的纳米压头G200可用于测量多种材料的杨氏模量、硬度、断裂韧性、耐磨性/划痕性、摩擦系数、高温蠕变响应和粘弹性性能。

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纳米硬度计压头®G200X

业界领先的纳米压头,具有灵活的,用户友好的界面,用于纳米级机械测试。纳米压头G200X采用高速控制器电子,升级的用户界面和先进的InView™软件,以实现各种可选的高级应用模块:特定频率的测试,定量划痕和磨损测试,集成探头成像,高温测试和定制测试协议。

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iNano®

灵活,用户友好,低力纳米压头,可以执行广泛的纳米力学测试。能够施加高达50mN的力来测试薄膜和软材料。

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uNano

坚固、安全、经济适用于本科实验室的微型机械工作站,具有远程可操作性,可全天候使用。

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NanoFlip

紧凑,灵活的纳米机械测试仪,用于在扫描电子显微镜或手套箱或工作台内的原位测试,在环境或真空条件下。

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InSEM®HT

最高性能的纳米压头,用于测试小体积材料在真空下的机械性能,温度高达800°C。实时变形数据有助于理解材料在高温下的性能。

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T150 UTM

业界最高性能和最通用的纳米拉伸测试器,使用业界领先的连续动态分析(CDA)生成动态存储和损失模量测量跨越五个数量级。

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技术文献

浏览来自KLA仪器应用工程师和客户的应用笔记和技术论文,涵盖了KLA仪器产品的各种用例。

探索

时间轴上的创新

近40年前,KLA的Warren Oliver博士共同创立了纳米压痕领域,KLA Instruments一直在继续培育创新文化。从推出市场上第一台纳米压痕机到将纳米压痕技术扩展到快速、高温、高应变率测试,我们不断开发新的静态和动态测试类型,推动新一代材料硬度的纳米力学测试。

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解放军的仪器标志

仪器

对于行业专家、学者和其他创新者来说,KLA Instruments提供可信的测量,实现了世界上突破性的技术。

缺陷检查

的烛光®复合半导体和硬盘驱动器的检测系统可以帮助工程师在通信和网络、led、电源设备、传感、太阳能、光伏和数据存储等应用领域实现显著的产量和工艺改进。

光学分析器

的Profilm3D®和ζ™️️光学轮廓仪提供快速,非接触的解决方案,3D台阶高度,粗糙度,和其他表面形貌测量,利用干涉仪和ZDot测量技术。

薄层电阻映射器

的Filmetrics®基于超过45年的电阻测量创新和技术专长,薄板电阻测绘仪器已经开发出来。

笔分析器

的Alpha-Step®, Tencorp系列,合®手写轮廓仪可以实现高精度,2D和3D表面计量。触控笔轮廓仪测量台阶高度,粗糙度,弓和应力具有行业领先的稳定性和可靠性,为您的研发和生产计量要求。

薄膜反射计

Filmetrics薄膜反射计可在数秒内测量透明薄膜的厚度和折射率,具有行业领先的精度。

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