光学轮廓仪
光学轮廓仪
Profilm3D®和ζ™️️光学轮廓仪为三维表面形貌测量提供快速、简单、非接触的解决方案。我们的光学轮廓仪产品组合支持多种测量技术，包括白光干涉测量、真彩色成像和ZDot™共焦网格结构照明。我们可以帮助指导您正确的分析器解决方案，以满足您的独特需求。
即将举行的活动
查看所有
在找手写表面轮廓仪吗?
查看更多时间轴上的创新
KLA Instruments™光学轮廓仪产品组合的历史是一个来自不同起源的创新故事。ADE推出了MicroXAM干涉仪。Zeta Instruments开发了ZDot和多模光学轮廓仪。Filmetrics®介绍了新颖的通用白光干涉仪。这些产品组合成多种光学轮廓仪，现已统一为KLA Instruments品牌。了解更多有关我们丰富的创新历史以及我们的工具如何继续发展以支持您的表面计量要求的信息。
接收最新的KLA Instruments新闻、报纸、事件等
遵循心理契约工具
跟随KLA Instruments与我们的专家交流，了解我们的工具应用。
了解我们的产品如何帮助你。
探索更多的解决方案
仪器
对于行业专家、学者和其他创新者来说，KLA Instruments提供可信的测量，实现了世界上突破性的技术。
缺陷检查
的烛光®复合半导体和硬盘驱动器的检测系统可以帮助工程师在通信和网络、LED、电力设备、传感、太阳能、光伏和数据存储等应用领域实现显著的产量和工艺改进。
纳米压头
KLA Instruments纳米压头组合提供了精确、可靠和可重复的测试，以在广泛的测试条件下表征材料的静态和动态力学性能。
薄层电阻映射器
的Filmetrics®基于超过45年的电阻测量创新和技术专长，薄板电阻测绘仪器已经开发出来。
触针轮廓仪
的Alpha-Step®, Tencor™p系列,合®触针式轮廓仪可实现高精度、二维和三维表面计量。触针轮廓仪可测量台阶高度、粗糙度、弯曲度和应力，其稳定性和可靠性达到业界领先水平，满足您的研发和生产计量要求。
薄膜反射计
Filmetrics薄膜反射计可在数秒内测量透明薄膜的厚度和折射率，具有行业领先的精度。