薄层电阻映射器
薄层电阻映射器
的Filmetrics®基于超过45年的电阻测量创新，已开发出薄板电阻测量仪器。从1975年ADE 6035电阻率测量仪的推出到Tencor Instruments、Prometrix和Filmetrics开发的技术，R50是结合了专业技术的顶点，提供了r系列片电阻测量工具。
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Filmetrics R50-4PP
Filmetrics R50-4PP触点探针系统绘制金属层厚度、薄片电阻、薄片电阻率、薄片电导和薄片电导率。10年的测量能力和大的Z范围使R50-4PP成为各种应用的理想选择。
Filmetrics R50-200-4PP也可用于容纳更大的样品尺寸。
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Filmetrics R50-EC
Filmetrics R50-EC非接触涡流系统绘制金属层厚度、薄片电阻、薄片电阻率、薄片电导和薄片电导率。非接触式涡流片电阻测量是测量敏感和/或柔性导电表面上的电阻和薄膜厚度的理想方法。
Filmetrics R50-200-EC也可用于更大的样品尺寸。
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我们的创新历史和深厚的专业知识建立了一个广泛的测量和检测解决方案组合，以满足每一个需求和环境。看看这一切是如何从阿尔法步骤开始的®通过我们最新的产品创新，1977年的产品线。
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仪器
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缺陷检查
的烛光®复合半导体和硬盘驱动器的检测系统可以帮助工程师在通信和网络、led、电源设备、传感、太阳能、光伏和数据存储等应用领域实现显著的产量和工艺改进。
Nanoindenters
KLA Instruments纳米压头组合提供了精确、可靠和可重复的测试，以在广泛的测试条件下表征材料的静态和动态力学性能。
光学分析器
的Profilm3D®和ζ™️️光学轮廓仪提供快速，非接触的解决方案，3D台阶高度，粗糙度，和其他表面形貌测量，利用干涉仪和ZDot™测量技术。
笔分析器
的Alpha-Step®, Tencor™p系列,合®手写轮廓仪可以实现高精度，2D和3D表面计量。触控笔轮廓仪测量台阶高度，粗糙度，弓和应力具有行业领先的稳定性和可靠性，为您的研发和生产计量要求。
薄膜反射计
Filmetrics薄膜反射计可在数秒内测量透明薄膜的厚度和折射率，具有行业领先的精度。