薄膜测量系统

薄膜测量系统

的Filmetrics®经济实惠的反射仪系列在几秒钟内提供高精度薄膜厚度测量。这些易于使用的工具与智能软件和广泛的附件和配置相结合,可在薄膜厚度测量范围内提供1nm至3mm的最大多功能性。

接下来的活动

查看所有

11月9日,2021年上午10:00(太平洋时间(美国和加拿大)

Profilm3d - 一种实践经验!

11月10日,2021年08:00上午的时间(美国和加拿大)

电池材料技术研讨会

太平洋时间2021年12月8日上午09:00(美国和加拿大)

微电子显示涂层的纳米划痕与测试后3D轮廓术

2月22日,2022年08:00 AM太平洋时间(美国和加拿大)

使用坎德拉的通信和传感应用的GaAs,INP和其他复合半晶片上的缺陷减少®

Fimpetrics F10-AR

专为眼科防反射涂层和硬涂层厚度测量而设计的简单,实惠的测量。

了解更多

Filmetrics F10-ARc

具有内部光纤的便携式反射仪测量弯曲表面,包括具有专利的长寿命,低功率光源的防反射涂层。以秒为单位获得颜色,反射率和胶片厚度测量。

了解更多

Filmetrics F10-HC

依靠世界各地的汽车硬涂层公司来测量平面和弯曲表面上的硬涂层。

了解更多

Fimpetrics F10-RT

执行反射率和透射率的同时测量;支持膜厚度和折射率的计算。

了解更多

Filmetrics F20

多功能,经济适用的通用薄膜厚度和折射率测量系统。

了解更多

Fimpetrics F3-SX

利用靠近红外线(NIR)光,以测量高达3mm厚的半导体和介电层。F3-SX使用近红外(NIR)光来测量层厚度。

了解更多

Fimpetrics F3-CS

用于测量小样本涂层厚度的小型便携式工具,如聚乙烯涂层卷板。

了解更多

Filmetrics + 30

提供原位,实时测量沉积速率,膜厚度和光学常数(n和k),用于分析膜均匀性和半导体和介电层的组成。

了解更多

Filmetrics F32

测量沉积速率,膜厚度,光学常数和均匀性实时,能力同时测量最多4个斑点。

了解更多

Filmetrics F40

包括一个集成的实时摄像机,与显微镜光学器件相结合,以产生小至1μm的薄膜厚度测量点尺寸,用于测量图案化,弯曲和非均匀样品。

了解更多

Filmetrics +

使用自动化的R-THETA阶段进行快速,自动膜厚度映射晶片尺寸,每位网站快速为0.5厘米。

了解更多

Filmetrics F54

将F40的小测量光斑尺寸与集成相机相结合,使用R-Theta平台自动绘制直径达300mm的晶圆。F54先进光谱反射率系统可快速方便地绘制直径高达450mm的样品薄膜厚度。

了解更多

Filmetrics f54 - xy - 200

F54-XY-200是一种用于测量薄膜厚度,折射率,反射,吸收和表面粗糙度的自动台式映射系统。五种配置覆盖薄膜厚度高达120μm,点尺寸为2μm至100μm。

了解更多

Fimpetrics F60-T

通过自动切口检测、自动板上基线和SECS/GEM工厂自动化软件,将薄膜厚度和指数测量应用到生产环境中。

了解更多

寻找用于半导体芯片制造的椭偏计薄膜厚度工具?

查看更多

技术文献

浏览KLA仪器应用工程师和客户的应用笔记和技术论文,涵盖了KLA仪器产品的各种用例。

探索

时间轴上的创新

从1995年推出第一款薄膜测量仪器开始,Filmetrics的技术专家一直在继续生产关键的创新产品,如AutoBaseline,使用胶片厚度图像的模式识别,以及内置自动波长校准。超过二十年,Fimentrics提供的创新技术和无与伦比的应用支持为客户提供了可重复且值得信赖的薄膜计量测量。了解有关丰富的创新历史,并了解为什么电影分子仪反射计是薄膜测量的标准。

了解更多

收到最新的KLA仪器新闻,论文,活动等等

仪器的形式
数据传输

关注KLA仪器

跟随KLA Instruments与我们的专家交流,了解我们的工具应用。

了解我们的产品如何帮助你。

探索更多的解决方案

解放军的仪器标志

仪器

对于行业专家、学者和其他创新者来说,KLA Instruments提供可信的测量,实现了世界上突破性的技术。

缺陷检查员

的烛光®复合半导体和硬盘驱动器的检测系统可以帮助工程师在跨越通信和网络,LED,电源设备,传感,太阳能,光伏和数据存储的应用中实现显着的产量和过程改进。

纳宁德斯

KLA Instruments纳米压头组合提供了精确、可靠和可重复的测试,以在广泛的测试条件下表征材料的静态和动态力学性能。

光学分析器

的Profilm3D®和ζ™️️光学轮廓计提供3D步高度,粗糙度和其他表面形貌测量的快速,非接触解决方案,利用干涉仪和ZDOT测量技术。

薄层电阻映射器

的Filmetrics®基于超过45年的电阻测量创新和技术专长,薄板电阻测绘仪器已经开发出来。

手写笔分析器

的Alpha-Step®, TencorP系列和HRP®触控笔功能计使高精度,2D和3D表面计量。手写笔分析器测量行业领先的稳定性和可靠性的步进高度,粗糙度,弓和压力,以及您的研发和生产计量要求。

你确定吗?

您已选择查看谷歌Translate翻译的网站。
KLA中国的内容具有改进的翻译内容。

你愿意去中国吗?


您您选择查看由谷歌翻译翻译的此网站。
kla中国的内容与英文网站相同并改进了翻译。

你想访问解放军中国吗?

如果您是当前的KLA员工,请通过KLA Intranet上访问我的访问权限。

出口

Baidu